来源 :深交所互动易2022-09-16
小土怪问南大光电(300346)请问老师，如果贵司能购买到缺陷检测分析仪器，目前贵司的Arf光刻胶能不能提升一个等级，用于14nm或者7nm芯片的制造？
2022-09-16 13:52:47
南大光电答小土怪
感谢您的关注！目前公司ArF光刻胶验证重点是90nm~28nm制程的工艺节点。
2022-09-16 15:39:31