来源 :深交所互动易2022-04-29
irm11955821问南大光电(300346)公司所缺的ARF光刻胶测试等设备是进口还是国产，如果进口是哪个国家的
2022-04-24 22:04:58
南大光电答irm11955821
感谢您的关注！公司ArF光刻胶的主要检测设备如光刻机已经安装并投入使用。目前缺陷分析设备尚未采购，需要进口。符合公司要求的缺陷检测设备目前市场上比较稀缺，公司正在努力推进采购工作。缺陷分析设备对14nm及更先进制程的光刻胶品质检测比较关键，而公司研发的ArF 光刻胶目前主要定位于 90nm-28nm 集成电路的制程应用。
2022-04-29 15:07:05