南大光电：募投光刻胶项目延期

　　3月30日，江苏南大光电材料股份有限公司发布公告称：募投项目“光刻胶项目”建设进度不及预期，计划将该项目的建设完成期限由原计划2021年12月31日延长至2022年12月31日。

　　项目延期原因

　　光刻胶项目延期的原因是受到新冠疫情、客户验证需求变化、公司实际经营情况等多重因素的影响，尤其是项目所需的缺陷检测等关键设备采购周期延长，安装、调试工作也相应后移，导致该项目延期。

　　南大光电光刻胶项目

　　南大光电ArF光刻胶开发和产业化，是为配合推动国家“02专项”光刻胶技术开发及产业化项目的开展而设立，项目拟投资66,000.00万元。南大光电子公司宁波南大光电材料有限公司作为项目的实施单位，有两条建设内容：

　　1、先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化：

　　建设内容为建立光刻胶配套高纯显影液的规模化生产线，包括合成、纯化、分析、灌装等工艺的配套生产装置及分析检测设备；另外还将建设国内首个先进光刻胶分析测试中心，包含浸没式光刻机、涂胶显影一体机和CD-SEM等关键量测设备。

　　项目完全达产后，将建成光刻胶研发中心、先进光刻胶的分析测试中心，以及年产350吨的高纯显影液的生产线。

　　2、ArF光刻胶产品的开发和产业化：

　　建立包含高等级超净间在内的ArF光刻胶生产线，具备ArF光刻胶产品的生产能力；建立ArF光刻胶配套关键组分材料的生产能力，完善光刻胶原材料的供应。

　　项目完全达产后，将建成年产5吨ArF干式光刻胶的生产线、年产20吨ArF浸没式光刻胶的生产线以及年产45吨的光刻胶配套高纯试剂的生产线。

　　3月25日，南大光电在投资者互动平台表示，公司已建成两条ArF光刻胶生产线，合计产能25吨/年。