来源 :深交所互动易2022-01-07
irm4323453问南大光电(300346)您好，请问贵司的ARF光刻胶是干法还是浸湿法？是否可以用于 90nm-14nm 技术节点的集成电路制造工艺？
2022-01-05 11:18:39
南大光电答irm4323453
感谢您的关注！ArF光刻胶可以用于 90nm-14nm 技术节点的集成电路制造工艺。公司目前研发的产品包含干式光刻胶和浸没式光刻胶。
2022-01-07 16:11:24