来源 :深交所互动易2022-01-07
cninfo908771问南大光电(300346)您好董秘,之前已经公告50 nm,55nm节点已经通过客户认证,请问现在在验证的光刻胶是多少的节点的,28nm还是14nm呢
2021-12-31 16:08:32
南大光电答cninfo908771
感谢您的关注！目前ArF光刻胶在多个技术节点同时认证，尚未涉及14nm技术节点。
2022-01-07 16:13:34