来源 :深交所互动易2023-09-07
飞天鸟问苏大维格(300331)请问老师，贵司的光栅尺最高分辨率是多少？精度是多少？
2023-08-03 07:47:44
苏大维格答飞天鸟
您好，制程越先进，光刻机光栅尺的周期精度要求越高，如28nm制程的光刻机要求的光栅尺周期精度小于2nm。公司相关产品周期精度小于1nm，鉴于保密信息，详细参数暂不便透漏。谢谢关注！
2023-09-07 10:02:19