来源 :深交所互动易2021-09-16
irm29071180问苏大维格(300331)公司半导体光刻机是否已出货，出货给国内哪些客户，用于什么半导体生产？
2021-09-10 12:02:55
苏大维格答irm29071180
您好，公司长期从事激光直写光刻机的研制，尤其在用于新一轮光子传感器的纳米光刻机研制领域积累了丰富且较为完善的技术经验，可为国内外高等院所和企业提供自主可控的直写光刻技术和光电子材料与器件技术方案，包括微纳光学材料、MEMS产品、射频器件、滤波器件等产品的研发与制造，也可为今后裸眼3D显示、光子晶体、半导体功率芯片等研发和制备等方面，提供前沿性和实用性纳米光刻工具。公司光刻设备除自用外，主要向国内外高校及科研院所销售，鉴于公司对光刻设备相关业务有保密要求，其相关信息不便透露，敬请谅解，谢谢！
2021-09-16 15:25:41