来源 :晶盛机电2024-07-29
近日，浙江省科学技术厅公布了2023年第二批全省重点实验室认定结果，由晶盛机电和上虞半导体材料研究中心共建的“全省高性能硅材料装备重点实验室”荣获本次认定。
■全省重点实验室认定结果
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该实验室由晶盛机电副总裁朱亮博士担任主任，面向国家集成电路产业高质量发展的重大战略需求，从集成电路用大尺寸硅片的低缺陷高品质生长工艺与高端装备技术等研究目标着手，致力于通过硅材料设备关键技术研究解决大尺寸硅片缺陷多、平坦度低等行业难题，建设国内首条12英寸集成电路大硅片设备实验线，重点围绕晶体生长、磨削、抛光等关键技术开展研究与突破，建立自主可控的硅材料装备国家技术体系，建设成为半导体材料装备领域世界一流、具有重要国际影响力的科研高地。
■实验室研发现场
此次晶盛获评浙江省重点实验室，不仅充分肯定了科研团队的辛勤工作和创新成果，也是对公司继续加大研发投入、激发创新活力的重要激励。公司将秉持“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”的使命，坚持以技术创新为核心驱动力，当好科技创新“排头兵”，致力于成为全球技术和规模双领先的半导体设备企业。
■晶盛机电国家及省级研发平台