来源 :粉体圈2023-11-06
11月4日，晶盛机电举行“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”签约暨启动仪式，旨在加快半导体材料端的关键核心技术攻关，实现国产化替代，这一举措标志着晶盛机电在半导体材料领域的技术实力和市场竞争力将进一步提升。
据了解，此次签约项目总投资21.2亿元，建成后，晶盛机电将利用自身的技术和资源优势，加快碳化硅衬底片的关键核心技术攻关和产业化，加速推进第三代半导体材料国产化进程。
碳化硅衬底片作为半导体材料的重要组成部分，具有优异的性能和广阔的应用前景。晶盛机电自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发，相继成功开发6英寸、8英寸碳化硅晶体和衬底片，是国内为数不多能供应8英寸衬底片的企业。目前，晶盛机电已建设了6-8英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光中试线，6英寸衬底片已通过多家下游企业验证，正处于快速上量阶段，8英寸衬底片处于小批量试制阶段。
晶盛机电表示，此次碳化硅衬底片项目启动，是晶盛机电创新增长的重要方向。公司紧抓碳化硅产业的战略机遇期，创新、扩产、赶超，实现国产突围，助力半导体产业发展。