来源 :北极星电力网2023-10-11
10月8日，晶盛机电成立控股子公司浙江晶盛光子科技有限公司（晶盛机电持股80%，杭州鸿豪企业管理合伙企业持股20%），主要负责光伏电池片设备业务。
据悉，晶盛光子主营管式PECVD、LPCVD、硼扩和退火，以及单腔室多舟ALD和舟干清洗等多种太阳电池工艺设备。