来源 :深交所互动易2021-09-17
irm9057020问上海新阳(300236)根据公司公告，芯刻微ArF浸没式光刻胶已经达到了中试试验的基本条件。请问何时进行中试试验？中试试验需要多长时间？可用于多少nm芯片制程？
2021-09-13 19:21:11
上海新阳答irm9057020
尊敬的投资者：你好！ArF 浸没式光刻胶产品试验按计划进行当中，谢谢您的关注！
2021-09-17 16:13:13