来源 :深交所互动易2021-08-16
irm1734217问上海新阳(300236)董秘您好！请更新下ASML-1400光刻机和ASMLXT1900Gi型光刻机的现状，未开封，处于调试，或已经投入使用？贵司的193nm干法光刻胶，与南大光电已经通过国家科技重大专项（02专项）项目验收的ArF光刻胶,是否属于同一级别产品？三月份，贵司更新ArF干法光刻胶在北方中芯验证中，能否告知从何时开始线外验证的，以及线上测试的进展或安排。ArF 浸没式光刻胶产品，实验室研发有无进展。
2021-08-03 17:36:23
上海新阳答irm1734217
尊敬的投资者：你好！公司ASML-1400光刻机和ASMLXT1900Gi型光刻机尚处于安装调试状态；ArF干法光刻胶按计划尚在认证中；ArF 浸没式光刻胶产品已有实验室样品同样在测试阶段。
2021-08-16 15:26:02