来源 :深交所互动易2023-09-19
cninfo717159问中航电测(300114)董秘您好！请问公司专利“一种间隙光刻机构及其光刻方法”使用的是哪种光源？能否用在芯片制造工艺上？非常感谢！
2023-08-01 15:50:51
中航电测答cninfo717159
您好，非常感谢您对公司的关注。公司授权发明专利“一种间隙光刻机构及其光刻方法"使用的是紫外光源，应用于应变计光刻。
2023-09-19 13:41:23