来源 :金融界2024-03-21
据国家知识产权局公告,芜湖长信科技股份有限公司取得一项名为“降低曝光机内部光线衍射的装置“,授权公告号CN220626853U,申请日期为2023年8月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种降低曝光机内部光线衍射的装置,包括安装板和设置于安装板上且用于汇聚光线的球状晶体,球状晶体设置于曝光机的光源和光罩之间。本实用新型的降低曝光机内部光线衍射的装置,设置在曝光机和光罩之间,当曝光机的光源发出光线时,经过此装置后的光线会减少衍射的效果,光线会再次变得竖直,减少了光在图形上衍射的分布,从而提升了曝光的效果。