来源 :电子工程专辑2022-05-17
进入五月，湖北鼎龙股份公司年产50万片集成电路CMP用抛光垫项目建设掀起高潮。9个建设单体全部封顶，其中，抛光垫车间、综合楼、动力中心装饰装修全面展开，设备安装调试工作同步进行，即将投入试生产。
鼎龙股份项目建设负责人余军：“我们园区目前整体进度已经完成了80%，一期项目投产相关的环保设施、动力设施、中控设备、以及库房、车间基本接近完工状态。内部重要的设备已经在逐步安装，部分设备已经具备试生产的条件，现在我们正在加紧最后的冲刺，特别是五一期间，全员还有300多人在工场一直加班加点，尽可能保障我们在五月底实现投产的目标。”
该项目总投资5亿元，占地100亩。项目自开工以来，公司统筹做好疫情防控和建设进度，相关部门和王场镇园区办当好主动服务项目建设的“店小二”，为项目建设营造了良好环境。
此处广告，与本文无关
抛光垫介绍
抛光垫按材质和结构的不同，可分为以下四种：
01
聚氨酯抛光垫
聚氨酯抛光垫的主要成分是发泡体固化的聚氨酯，其表面许多空球体微孔封闭单元结构。这些微孔能起到收集加工去除物、传送抛光液以及保证化学腐蚀等作用，有利于提高抛光均匀性和抛光效率。孔尺寸越大其运输能力越强，但孔径过大时会影响抛光垫的密度和刚度。但由于这种聚氨酯抛光垫具有发泡结构，所以抛光液不能渗透到抛光垫内部，只存在工件与抛光垫的间隙中，抛光液无法渗透到抛光垫的内部，影响抛光后的残渣或抛光副产物的及时排除，容易阻塞抛光垫表层中的微孔。因此一般在抛光垫表面要做沟槽，以利于抛光残渣的排除。根据这种抛光垫耐磨性好、抛光效率高、形变小的特点，粗抛选用发泡固化的聚氨脂抛光垫。
聚氨酯抛光垫
02
无纺布抛光垫
无纺布抛光垫的原材料为聚合物棉絮类纤维。此类抛光垫渗水性好。抛光液能渗透到抛光垫内部，容纳抛光液的效果好。因此微观组织对抛光垫性能产生重要影响，采用不同的制作工艺，可获具有不同微观组织结构的抛光垫。在细抛工艺中常用这种无纺布抛光。
无纺布抛光垫
03
带绒毛结构的无纺布抛光垫
这种抛光垫以上述无纺布为基体，中间一层为聚合物，表面层为多孔的绒毛结构。当抛光垫受到压力时抛光液会进入到空洞中，而在压力释放时会恢复到原来的形状，将旧的抛光液和反应物捧出，并补充新的抛光液，绒毛的长短和均匀性影响抛光效果。带绒毛结构的无纺布抛光垫硬度小、压缩比大、弹性好，因此用该抛光垫加工硅片时，可获得表面粗糙度小、片内均匀性好硅片。在精抛工序中常采用这种具有多孔绒毛结构的无纺布抛光垫。
带绒毛结构的无纺布抛光垫
04
两层复合体抛光垫
由化学机械抛光原理可知，软质抛光垫可获得加工变质层和表面粗糙度都很小的抛光表面，但抛光垫硬度过小时，在抛光压力作用下抛光垫与硅片表面的硅片凹区域和凸区域同时接触，凹凸表面材料的材料同时去除，难易实现高效的平坦化加工。另外，抛光垫的硬度过高时，虽然可以获得很高的抛光效率，但由于抛光垫的变形小，加工过程中容易损伤硅片表面，同时非均匀性也差。为了兼顾平坦度和非均匀性要求，可采用“上硬下软”的上下两层复合结构的抛光垫此种抛光垫能够储存抛光液，而且不渗透到抛光垫的内部，抛光效果稳定。
两层复合体抛光垫
抛光垫作为CMP系统的重要组成部分，其性能直接影响CMP过程及抛光效果。