来源 :新宙邦2022-04-06
电子氟化液是半导体蚀刻工艺中晶圆表面控温的关键供应链原料，其生产技术难度大，品质要求苛刻。近期，占全球70%市场份额的海外厂家受环保法规、原料供应等影响，宣布不可抗力，无限期停产，将导致全球包括欧洲、亚洲的半导体巨头制造商出现大面积的氟化液短缺。
新宙邦（300037）旗下的海斯福公司深耕有机氟精细化学品技术领域，经过十余年的产业化技术研究，打破国外垄断，实现Boreaf?电子氟化液HEL、FTM、C4ME等系列产品（沸点50~300℃）的商业化。海斯福的电子氟化液可用于半导体Chiller冷却，数据中心浸没冷却，精密清洗，气相焊接、电子检漏等领域。系列产品已全面供应全球半导体主流制造商。
新宙邦提前进行产能布局和知识产权布局，建设有规模化的电子氟化液生产线，近期，福建三明新园区建设正如火如荼进行，产能将进一步扩大至五千吨级，进一步保障半导体客户供应。
在半导体行业迅猛发展大背景下，新宙邦将根据客户需求，致力于半导体关键材料的供应与开发，为全球半导体伙伴提供关键材料和解决方案。
海斯福电子氟化液应用场景
小知识：电子氟化液
电子氟化液是半导体行业热传导控温液体的不二之选。
在刻蚀机台的腔体内，晶圆吸附在ESC表面进行刻蚀，刻蚀中的化学反应对温度非常敏感，微小的温差和静电等因素都会造成很大的刻蚀选择率、刻蚀速度的波动，造成晶圆蚀刻不良率上升。电子氟化液具备使用温度范围广、优异的导热性能、低粘度、无毒、无闪点、材料兼容性好等优点，能够满足于苛刻的蚀刻工艺条件，能够实现精准的控温要求。