机器人：公司半导体装备业务应用规模化效应初步显现

　　机器人近期披露投资者关系活动记录表显示，目前公司大气类产品（包括EFEM、大气机械手）、两轴真空直驱机械手、真空传输平台系列产品已实现批量化订单，半导体装备业务应用规模化效应初步显现。随着研发的不断推进以及成果的转化，保障了订单的高附加值以及未来此业务板块的成长性。