科瑞技术取得龙门双驱结构专利，提高龙门双驱结构的速度和精度

　　据国家知识产权局公告，深圳科瑞技术股份有限公司取得一项名为“龙门双驱结构”，授权公告号CN220061300U，申请日期为2023年6月。

　　专利摘要显示，本申请提供的龙门双驱结构，第一Y轴支撑座设于基座上，第一滑动组件以及第一驱动组件设于第一Y轴支撑座上。第二Y轴支撑座设于基座上，第二滑动组件以及第二驱动组件设于第二Y轴支撑座上。X轴支撑座两端分别和第一滑动组件以及第二滑动组件连接，第一驱动组件能驱动第一滑动组件相对第一Y轴支撑座往复运动，第二驱动组件能驱动第二滑动组件相对第二Y轴支撑座往复运动；波纹管接头组件用于连接波纹管，第一驱动组件、第二驱动组件以及第三驱动组件通过波纹管内的线缆与电控设备电性连接。通过波纹管接头将波纹管连接龙门双驱结构，波纹管代替拖链，能减小半导体设备的空间占用率，提高龙门双驱结构的速度和精度，减小龙门双驱结构的噪音。