来源 :金融界2024-02-04
2024年2月1日消息，据国家知识产权局公告，中节能万润股份有限公司取得一项名为“一种用于193nm水浸式光刻胶顶层涂层的聚合物及其制备方法和顶层涂层组合物“，授权公告号CN116003681B，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种用于193nm水浸式光刻胶顶层涂层的聚合物及其制备方法和顶层涂层组合物，所述的聚合物具有如下通式。