来源 :氟化工2023-02-03
2月2日凯美特气发布公告称，其子公司收到全球光刻机龙头ASML子公司的供应商认证函，将公司光刻气产品列入合格供应商名单。凯美特气也将成为继华特气体(688268)后，国内第二家获得ASML认证的电子特气厂商。
此前，被视为晶圆制造“血液”的电子特气一直由国外厂商垄断，随着国产厂商陆续获得巨头认证，市场预计该细分领域国产替代化率将加速提升。
获光刻机龙头“背书”
凯美特气公告显示，其控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司(简称“电子特种气体公司”)2月2日收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函，电子特种气体公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。
据了解，Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是ASML 集团内一家独立运营的企业。Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源，开发、制造和服务深紫外(DUV)光源。产品组合包括使用氟化氩(ArF)或氟化氪(KrF)气体产生深紫外光的准分子激光器。
一般而言，集成电路领域的认证至少需要2年时间，一旦获得客户认可，一般不会轻易更换供应商。换言之，公司以后进入光刻气行业市场，不再只是第三方代理销售。
在去年10月，凯美特气方面曾表示，其在ASML的供应商认证仍在进行中。而除了ASML外，凯美特气还于2021年相继通过了法国液空、美国相干的稀有气体、混配气认证，电子特气业务开始逐渐放量。
宜章凯美特特种气体项目实施主要产品包括电子级溴化氢、氯化氢、氟基混配气等产品，预计项目建成后年收入6.5亿元。
不过，凯美特气此次在公告中也表示，公司获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函体现了头部光刻机激光设备厂商对公司光刻气产品的认可。Cymer公司本身不直接采购光刻气产品，本次认证暂时未对其光刻气产品营业收入、利润产生直接影响。
细分领域国产替代加速
资料显示，电子气体是现代工业之基石，被誉为晶圆制造之“血液”。电子气体可分为大宗气体和特种气体两大类，其下游广泛应用于集成电路、面板、医疗、光纤等新兴行业和冶金、化工等传统行业。
具体到集成电路领域，电子特气应用的种类超过110余种，用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，是半导体行业必需的支撑性材料。
不过，当前全球电子气体呈现外资寡头垄断格局。数据显示，2020年全球电子气体市场的 CR4超过75%，以海外龙头林德集团(含普莱克斯)、空气化工、液化空气和日本酸素为首的气体寡头占据了全球七成以上的电子气体市场份额。相比之下，国内电子特气产业起步较晚。
据悉，2022年全球和中国的电子特气市场规模分别预计为49亿美元和189亿元。考虑到国内下游Fab厂正加速认证，中国电子特气需求增速将显著高于全球。中国半导体行业协会预计，2024年中国电子特气市场规模将提升到230亿元，4年CAGR为11.28%，届时中国将占据全球6成市场。
通过不断的经验积累，国内电子特种气体正逐步打破进口依赖的局面。目前国内电子特气第一梯队的厂商已经具备替代能力，在细分领域具有一定优势，在部分产品上实现突破，达到国际标准，并逐步缩小与国外企业的差距，加速实现国产替代。