来源 :深交所互动易2025-10-13
irm2627080问北方华创(002371)公司子公司芯源微在光刻机（胶）产品有哪些？例如涂胶显影设备、单片式湿法设备等。
2025-09-29 07:55:46
北方华创答irm2627080
您好，芯源微的主要产品包括12英寸前道及后道涂胶显影设备、6-8英寸化合物半导体涂胶显影设备、12英寸物理清洗设备、热硫酸清洗设备、超临界清洗设备，以及临时键合解键合设备等。感谢关注！
2025-10-13 18:16:10