北方华创赋能全球首颗嵌入式RRAM显示驱动芯片

　　日前，全球首颗采用嵌入式RRAM（阻变存储器）存储技术AMOLED显示驱动芯片完成开发和认证。该新型嵌入式RRAM显示驱动芯片由北京电控所属北方华创提供刻蚀和薄膜设备及工艺解决方案，存储器设计公司睿科微电子提供技术支持。

　　据介绍，嵌入式RRAM显示驱动芯片，突破了内置SRAM（静态随机存取存储器）+外置NOR Flash（NOR型闪存）的传统方案，显著提高补偿参数读取速度，降低成本和功耗，并优化空间利用，解决了显示驱动芯片行业中长期存在的生产成本高、效率低、面积大的痛点问题。嵌入式RRAM显示驱动芯片能够在保证高质量显示效果的同时，大幅提升生产效率和产品良率，为AMOLED显示/触控以及更先进显示技术提供更为高效和经济的解决方案。

　　RRAM对芯片制造过程中的低温沉积、低损伤刻蚀等工艺有更严格的要求。作为国内领先的半导体设备供应商，北方华创提供了包含刻蚀、薄膜在内的关键RRAM设备及工艺解决方案。在薄膜沉积方面，北方华创eVictor系列薄膜沉积系统，在同一平台上集成多类薄膜加工腔室，单系统可实现包括基底清洁、电极沉积、阻变材料沉积工艺，显著提高生产效率，有效提升RRAM存储单元的性能一致性、芯片良率和可靠性；在刻蚀方面，北方华创NMC612系列设备加工能力出色，新型等离子体产生系统可保证RRAM器件低损伤，多区温控静电卡盘可实现晶圆精准温度控制，良好的控制均匀性、精准的电路图案转移、出色的反应腔内颗粒污染控制能力，可提高产品优良率、延长设备维护周期、提升设备可靠性和稳定性。

　　伴随智能物联网、大语言模型等技术的进步，采用RRAM作为嵌入式存储的OTP（一次性可编程存储器）、MTP（多次可编程存储器）、SRAM（静态随机存取存储器）和eNVM（嵌入式非易失性存储器）已成为业界趋势，将为人工智能与机器学习、智能移动终端、可穿戴设备、车载显示系统及未来众多应用领域带来无限发展机遇。