「中标」北方华创中标广纳院1台电感耦合等离子体刻蚀机

　　集微网消息，8月9日，广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院电感耦合等离子体刻蚀机项目中标结果公示。中标人为北京北方华创微电子装备有限公司，标的物为1台电感耦合等离子体刻蚀机。

　　据悉，北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，涉及等离子刻蚀设备（Etcher）、物理气相沉积设备（PVD）、氧化扩散设备（Oxide/Diff）等，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。

　　7月14日，北方华创中标广西华芯振邦半导体有限公司干蚀刻机招标项目1台干蚀刻机。