来源 :深交所互动易2022-06-30
萌新韭菜问北京科锐(002350)请问公司的LPCVD设备与PECVD相比优劣如何，前景如何？今年以来订单量如何？谢谢
2022-06-24 04:22:04
北京科锐答萌新韭菜
尊敬的投资者：您好！LPCVD设备的优点是工艺成熟度高，有规模量产经验，气体用量小，成膜质量好，设备投资少，占地面积小。缺点是绕镀，原位掺杂较难，能耗大，石英耗材成本较高，不同尺寸硅片兼容性差。感谢您的关注。
2022-06-30 18:00:53