来源 :深交所互动易2024-06-21
飞天鸟问奥普光电(002338)请问老师，贵司目前现有的汤姆逊激光散射光谱仪分辨率能达到多少？能用于DUV光刻机上面的光源吗？贵司目前这项产品在测试吗？
2024-06-06 13:00:30
奥普光电答飞天鸟
超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目，目标是研制出原理样机及工程样机，研发周期从2023年12月至2026年11月，目前尚未形成产品。感谢关注。
2024-06-21 20:39:36