来源 :深交所互动易2024-04-16
irm69777816问奥普光电(002338)请问贵司的超精尺是为国产光刻机28nm及以下制程研发的吗？目前进度如何，什么时候能送样测试？
2024-03-25 11:46:24
奥普光电答irm69777816
超精尺目前尚处于原理样机开发阶段，我们将进一步加大研发投入加快研发进程。
2024-04-16 20:14:16