来源 :深交所互动易2024-03-10
irm69777816问奥普光电(002338)请问一下，国产光刻机的精度是否由公司生产的光栅尺或超精尺的精度确定？贵司的产品目前支持28nm的制程吗？贵司作为中科院的一员，为国产光刻机做了哪些贡献？
2024-03-04 12:56:39
奥普光电答irm69777816
光栅尺是半导体设备的部件之一，一般来说部件的精度取决于整机的技术需求。感谢关注。
2024-03-10 08:43:45