来源 :深交所互动易2023-09-11
irm69777816问奥普光电(002338)请问贵司的光栅尺、编码器、高精尺、超精尺分别用于哪些半导体设备？贵司目前有哪些技术或产品或技术储备可以用于光刻机？
2023-09-09 21:31:39
奥普光电答irm69777816
公司子公司禹衡光学的产品在半导体晶圆搬运、切割及封测等设备均有应用。感谢关注。
2023-09-11 13:25:27