来源 :深交所互动易2022-08-30
irm11430015问奥普光电(002338)请问公司的光栅尺精度能达到多少，理论上能应用到芯片制造和封装的测量辅助系统吗？
2022-08-06 13:10:51
奥普光电答irm11430015
公司子公司禹衡光学光栅尺精度与海德汉对标，指标为±3μm/m等级，实际可达到±2μm/m以内，理论上可以应用到芯片制造和封装的测量辅助系统。感谢关注。
2022-08-30 13:48:49