来源 :深交所互动易2023-01-11
irm66731050问汉钟精机(002158)请问公司半导体干式真空使用何种涂层材料，是否根据不同工艺制程的气体调整泵体涂层？
2023-01-10 13:52:47
汉钟精机答irm66731050
您好，公司真空泵产品根据使用工艺要求及抽取的物质不同而调整不同的涂层，感谢您的关注。
2023-01-11 13:48:53