来源 :金融界2024-03-22
2024年3月22日消息，据国家知识产权局公告，横店集团东磁股份有限公司申请一项名为“扩散制结工艺、太阳能电池及其制备方法“，公开号CN117747698A，申请日期为2022年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种扩散制结工艺、太阳能电池及其制备方法。该扩散制结工艺主要包括通源沉积、推结、降温、PSG沉积反应、后氧化以及降温回压，通源沉积的次数在两次以上，每次通源沉积的过程中，大氮的体积流量为600sccm?800sccm，小氮的体积流量为550sccm?760sccm，氧气的体积流量为500sccm?700sccm，压力为70mBar?80mBar，其中，第一次通源沉积的温度为780℃?790℃，通源沉积的温度依次递增，且递增的幅度为5℃?15℃；推结选自有氧推结，温度为860℃?880℃，且氧气的体积流量为50sccm?300sccm，大氮的体积流量为500sccm?1000sccm；在降温的步骤之后，还包括补源沉积的步骤。该扩散制结工艺能够在降低PN结表面磷浓度的同时增加结深，从而使单晶硅太阳能电池具有更加优异的转换效率，且避免了电池片漏电的风险。