来源 :粉体圈2023-01-03
近日，国机精工股份有限公司（国机精工）公告，非公开发行股票募集资金总额不超过约2.84亿元，主要用于新型高功率MPCVD法大单晶金刚石项目。
单晶金刚石生长衬底（晶种）
金刚石单晶的核心生产技术就是MPCVD技术。目前国外如美、日、德等国家对MPCVD设备的研发起步较早，高功率MPCVD设备制备技术已相对成熟，设备性能稳定可靠，同时在MPCVD法合成单晶/多晶金刚石的基础研究方面也有着较为丰富的研究成果，部分产品已实现商业化；国内MPCVD关键装备自主开发、沉积面积、金刚石尺寸、缺陷密度、热性能等重要性能指标上与国外存在较大的差距。
因此，持续对MPCVD设备中关键单元开展研究，解决金刚石在功能化应用过程中设备、技术、工艺核心问题，破解国外对于关键设备、技术的封锁，对于保障国家重大工程平稳运行、行业转型升级具有重大意义。
国机精工于2016年8月立项实施新型高功率MPCVD法大单晶金刚石项目，经过一年多的调研与技术研发，在2018年在正式开始产线的建设工作，经过4年的努力，建成年产30万片MPCVD法大单晶金刚石生产线。通过一期项目的开发，公司实现了MPCVD设备、工艺、产品开发和生产线的搭建，为二期项目的进行奠定了坚实基础。
据公告披露，项目位于河南省洛阳市伊川县白沙镇产业集聚区，拟在一期项目基础上，持续开展MPCVD法金刚石关键共性技术的研究，提升了现有产品宝石级金刚石品级与工艺稳定性，开发出了2-3寸的金刚石刚石材料，并最终实现产业化生产。拟通过对现有生产场地进行改造，新增自制MPCVD设备建设宝石级大单晶金刚石生产线和第三代半导体功率器件超高导热金刚石材料生产线各一条，成为国内领先的MPCVD法大单晶金刚石材料科研生产基地。项目设计总产能为65万片/年，其中高品级MPCVD法超高导热单晶/多晶金刚石5万片，宝石级大单晶金刚石60万片。