来源 :深交所互动易2026-06-12
irm2884671问华工科技(000988)贵司高端晶圆激光加工装备成功导入世界级存储晶圆量产线，是不是跟罗博特科合作开发的？
2026-05-16 07:46:58
华工科技答irm2884671
投资者您好，面向第三代化合物半导体领域，公司通过自主研发+产业链合作的形式，开发了覆盖前、后道制程的10套装备，包括晶圆表面切割智能装备、晶圆隐形切割智能装备、晶圆改质智能装备、全自动晶圆退火装备、晶圆衬底及外延量测装备等产品。目前，公司自主研发的12英寸高端晶圆激光加工装备已成功导入半导体行业头部客户。感谢您对公司的关注。
2026-06-12 17:32:03