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华工科技(000988)内幕信息消息披露
 
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(深互动)华工科技:公司还在开发晶圆激光改质切割设备、半导体晶圆激光退火设备

http://www.chaguwang.cn  2023-07-12  华工科技内幕信息

来源 :深交所互动易2023-07-12

  星空守望者问华工科技(000988)据“中国光谷”微信公众号消息,近期,华工科技制造出我国首台核心部件 100%国产化的高端晶圆激光切割设备,在半导体激光设备领域攻克多项中国第一。公司能否做个简要介绍?谢谢。

  2023-07-11 14:56:23

  华工科技答星空守望者

  投资者您好,公司在精密微纳激光设备领域积极开拓新的应用空间,在半导体应用领域开发了激光晶圆精密切割装备,主要用于第三代半导体材料如碳化硅晶圆片的切割/开槽工艺制程。目前该设备已完成产品开发。在第三代半导体后道工艺制程方面,公司还在开发晶圆激光改质切割设备、半导体晶圆激光退火设备,主要应用于SiC,GaN的功率和射频器件/芯片,并广泛应用于智能汽车、光伏、5G通信等领域。感谢您对公司的关注。

  2023-07-12 09:04:00

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